Nouveau GEMÜ CleanStar High

GEMÜ C60 CleanStar, à commande pneumatique et GEMÜ C67 CleanStar, à commande manuelle, taille d'actionneur 4. (Source de l'image : GEMÜ Gebr. Müller Apparatebau GmbH & Co. KG) :

Les exigences de conception de vannes de l'industrie des semi-conducteurs ne cessent de croître. Des structures de plus en plus petites sur les puces nécessitent des fluides d'une pureté maximale exempts de particules. La quantité requise de milieux de traitement a simultanément augmenté au cours des dernières années en raison de l'augmentation du diamètre des tranches. GEMÜ tient compte de ces deux développements avec le lancement de la nouvelle taille d'actionneur. Le nouvel actionneur de taille 4 est disponible dans les tailles nominales 1½" et 2", et les pièces en contact avec le fluide sont en PFA et PTFE TFMTM. Cette combinaison permet de transporter de grandes quantités de fluides et d'utiliser des conceptions de vannes ultra pures même au niveau de l'approvisionnement et de la distribution de la production de semi-conducteurs. La conception compacte GEMÜ CleanStar assure simultanément un excellent rapport débit/encombrement et remplacera à l'avenir les vannes à membrane GEMÜ 600 HP et GEMÜ 677 HP/HPW.

GEMÜ CleanStar : une conception éprouvée à la conquête de nouvelles applications Les avantages de la série GEMÜ CleanStar sont nombreux. L'écrou-raccord central crée un joint fiable entre l'actionneur et le corps de la vanne, et ce, sans l'utilisation de pièces métalliques. La conception du déversoir (style déversoir) garantit une canalisation des fluides à faible contrainte, minimise les zones mortes et ne spécifie pas de sens d'écoulement. Les parties extérieures présentent une très bonne résistance chimique grâce à l'utilisation de PVDF. Un trou de détection de fuite et des trous oblongs pour une installation flexible des vannes sont déjà intégrés dans la conception du corps. La série dispose également d'un indicateur de position en standard. Tous ces avantages ont été adoptés en ce qui concerne l'échelle de la nouvelle taille d'actionneur 4. Grâce aux tailles nominales plus grandes, GEMÜ exploite déjà tous les avantages des produits nommés pour ses clients au niveau de l'approvisionnement et de la distribution (facility et sub-fab) de la production de semi-conducteurs.

Source : GEMÜ Gebr. Müller Apparatebau GmbH & Co. KG